太陽能行業用超純水設備、蓄電池生產用超純水、鋰電池生產用超純水 、太陽能電池生產用超純水、蓄電池格板用超純水等，其對純水水質要求十分嚴格, 多晶硅超純水設備主要用在多晶硅片清洗中，多晶硅片,半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染電括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成和人接器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。

其光伏電池超純水設備有著以下工藝：

      1、源水→源水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→UF系統→一級反滲透→PH調節→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)

      2、源水→源水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→UF系統→一級反滲透→PH調節→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→供水泵→用水對象(≥17MΩ.CM)

光伏行業超純水設備詳細介紹

      1、預處理系統(原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑系統)

      2、反滲透除鹽系統(保安過濾器、高壓泵RO、反滲透)

      3、EDI系統(EDI的作用就是去除電解質(包括弱電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。)

      4、拋光混床(終端精制混床是超純水在接觸到半導體芯片前的最后一道化學精制的處理程序，終端精制混床樹脂必須是最高的品質，絕不能釋放出任何物質，進而污染到不能間斷的超純水供水系統)

      5、脫氣膜(是控制液體脫氣、供氣的中空纖維膜組件。具有致密表皮層的獨特中空纖維不透過液體，只透過氣體，適合用于液體的脫氣、供氣。)

      6、TOC系統(超純水制備中，TOC(總有機碳)的降解至關重要，采用UV-180nm單波長紫外技術，并通過高劑量的UV-185紫外關催化，在水中產生OH翔基自由基，對水中的有機物進行氧化降解，以達到降低水中TOC的含量。)

超純水水質標準

　　超純水設備出水水質完全符合美國ASTM D5127-2007、符合我國電子級水GB/T 11446.1-1997標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、0.5MΩ.cm)。